Как решается проблема измерения статических электрических параметров высоковольтных IGBT полупроводников при низких минусовых температурах?

#нас_спрашивают_клиенты

Как быть с «атмосферными осадками», которые выпадают на пластинах, зондах и столике Зондовой станции при измерении статических электрических параметров высоковольтных IGBT транзисторов при минусовых температурах в области минус -50℃?

Проблема образования инея, льда, росы на критических поверхностях возникает из-за наличия влажного воздуха в зоне измерений. Конденсат и иней образуются на всех холодных поверхностях: на пластине с кристаллами, на столике, на зондах. На кончиках зондовых игл порой возникает даже ледяная корка, препятствующая электроконтакту.

Происходит не только критическая потеря точности и даже возможности измерений, но и повреждение оборудования и измеряемого транзистора. В конечном счете получаем полную потерю контроля над процессом.

В высоковольтных ЗС для измерений при глубоких минусовых температурах необходимо предпринять комплексный подход:

✔️ Изоляция зоны измерений от окружающей среды с помощью герметичной камеры, обеспечивающей стабильное избыточное давление 50-100 Па и герметичность электрических вводов.

✔️ Продувка зоны измерений инертным газом, например, азотом (из дьюара или баллона). Азот должен быть обязательно ОСЧ марки 6,0 - 99,9999%! Точка росы должны быть ниже -45℃, если измерения нужны на -50℃. Продувку камеры начинают заранее, минут за 10 до достижения температуры измерений. Мониторьте точку росы!

Наилучшее решение — применять специальные ЗС (например, MPI), оборудованные изолированной термозоной и средствами управляемой продувки.

Шаги процесса:
*️⃣ Загрузка пластины в камеру в н.у. и герметизация камеры.
*️⃣Включение продувки азотом для вытеснения остаточной влаги.
*️⃣Проверка герметичности после стабилизации давления в камере.
*️⃣Охлаждение до -50℃ .
*️⃣Измерения в герметичной камере с продувкой азотом.
*️⃣Автоматическая выгрузка пластины и измерение следующей.

В лабораторных целях, когда не требуется длительный непрерывный процесс измерений, все попроще — герметичную камеру можно кратковременно заменить экранами вокруг зоны измерения с изменением потока газа.

Для измерений на минусовой температуре в корпусе рекомендуем использовать оборудование для термостатирования типа Термострим, который задаёт температурные режимы и обеспечивает термостатирование в процессе измерений. Проблемы с конденсатом и инеем не будет. Однако следует позаботиться о специализированной измерительной оснастке, конструкция которой определяется для каждого типа объекта контроля (ОК) индивидуально в соответствии с требованиями:
*️⃣ со стороны конструкции корпуса ОК,
*️⃣ к подключению ОК к разъемам Тестера согласно ТУ,
*️⃣ к установке колпака Термострима.

В общем случае для контроля корпусированных полупроводниковых приборов требуется создание теплоизолированного объёма, в который заведены необходимые измерительные тракты от Тестера.

🔤🔤 Все специфические коммутационные узлы для конкретного Тестового решения должны размещаться за пределами зоны температурного воздействия, чтобы провода и разъёмы не подвергались обледенению и не вносили ошибки.

❗️Приглашаем вас посетить нашу лабораторию для демонстрации измерений высоковольтных IGBT транзисторов и диодов до 6,5 кВ с применением Комплекса Modula® TXI, созданного нами на базе Тестера Formula® TT4 и высоковольтной зондовой станции MPI Corporation TS2000-IFE.

📞 Записывайтесь на демонстрацию по телефону +7(495)269-75-93

Первые впечатления ФОРМ с открытия Форума «Микроэлектроника2025»!

Первый день на выставке Форума был коротким — до обеда проводилось пленарное заседание под эгидой Правительства. Декларирован стратегический курс на развитие микроэлектроники, с акцентом на специальное электронное машиностроение, что особенно важно для нашей компании.

Вдохновленные перспективами, объявленными Правительством до 2030 года, мы обменялись долгосрочными планами с нашими Клиентами - и в области традиционного сотрудничества, и в области кооперации с наукой; выявили освобождающиеся производственные мощности и трудовые ресурсы у наших подрядчиков, обсудили общее состояние с загрузкой оборудования в эксплуатации, а также новые потребности в АТЕ с учетом трендов на изменение в номенклатуре ЭКБ.

На нашем стенде мы знакомили гостей с новым поколением Тестеров Formula — модульным АТЕ Тестером микросхем
FORMULA® RXI и Тестером полупроводниковых приборов FORMULA® SD.

Разумеется, наибольший интерес вызывают новые возможности нашего оборудования, и прежде всего:

1️⃣Модульность =
«вставь-и-работай» на основе линейки измерительных модулей RXI

2️⃣ Измерение динамических (временных) параметров мощных полупроводников.

3️⃣ Измерение микросхем ЦАП и АЦП.

Отмечено усиление интереса покупателей к закупке оборудования в Trade-in и в рассрочку, чтобы компенсировать дороговизну банковского кредитования. Главное, чтобы дело не дошло до бартера, как 90-е годы:)

И мы готовы обсуждать со своими клиентами разные условия поставки, чтобы обеспечить производителей качественным автоматическим контрольно-измерительным оборудованием для комплексного тестирования ЭКБ

Приходите на стенд №79, всё обсудим! До встречи на форуме!

Сегодня на форуме «Микроэлектроника 2025» руководитель отдела продаж, Екатерина Бочарова, выступила с интервью,
в ходе которого обсуждались следующие актуальные для отрасли темы:

✔️ Направления развития АТЕ FORMULA
✔️ Пути развития компетенций для молодых специалистов
✔️ Роль форума для сотрудничества предприятий отрасли
✔️ Примеры применения Тестеров FORMULA на разных стадиях жизненного цикла ЭКБ.

Следите за новостями!
Скоро выпуск этого интервью на нашем канале и канале Микроэлектроника.