Интересная статья, pdf прилагаю, от Дмитрия Боднаря,
к.т.н., генерального директора, АО «Синтез Микроэлектроника»

Оценивая очередные этапы становления полупроводниковой микроэлектроники с 2017 г., автор настоящей статьи всегда уделял основное внимание тенденциям мирового рынка, концептуальным технологическим достижениям и материалам, даже находящимся в стадии исследований и разработки, но способным оказать значительное влияние на ее развитие в течение длительного периода. На этот раз автор решил несколько отойти от привычного подхода и рассмотреть особенности применяемой в массовом производстве технологии EUV-литографии в экстремальном диапазоне. В ближайшие 10 лет именно методы EUV-литографии с высокой числовой апертурой High-NA и Hyper-NA будут определять возможности масштабирования топологии микросхем.

Полупроводниковая микроэлектроника – 2024 г.
Часть 1. У High-NA EUV-литографии имеется альтернатива вплоть до 1-нм технологии

Зеленоградское предприятие «НМ-Тех» с 2025 года начнет четыре новых проекта по производству чипов для сим-карт, токенов электронных подписей, банковских и транспортных карт, а также загранпаспортов

В компании рассчитывают, что совокупная прибыль от реализации продукции может превысить 3 трлн руб. уже до 2030 года

◾️Серийное производство микросхем для USB-токенов с поддержкой электронной подписи объемом реализации почти 3 трлн руб. Подготовка к производству начнутся в 2028 году, реализация планируется в 2030 году

◾️Производство микросхем для UHF-меток на 4,8 млрд руб., используемых в транспортных и других картах Подготовка в 2025 году, реализация в 2027 году

◾️U-чип-микросхем (в том числе для загранпаспортов) на 3,9 млрд руб. Подготовка в 2027 году, реализация в 2029 году

◾️Защищенная микросхема для сим-карт «идентификации в сетях связи» и M2M-чипов (используются в IoT) на 7,3 млрд руб. Подготовка в 2026 году, реализация в 2028 году

Губернатор Московской области Андрей Воробьев запустил в регионе крупное производство, которое будет ежегодно выпускать до 200 млн чипов

На кристальном производстве, на котором будут работать более 30 единиц высокотехнологичного оборудования, будет выпускаться до 200 млн чипов в год

А в сборочном производстве, где расположено свыше 40 единиц оборудования, будут собираться более 110 млн диодов, транзисторов и микросхем

Я очень надеюсь, что микроэлектроника станет конкурентоспособной, будет нести в себе что-то новое. Это очень важно всегда, наш президент говорит, что одним из главных приоритетов России является обеспечение технологического суверенитета. Поэтому мне особенно приятно находиться в кругу тех, кто своими конкретными делами вносит лепту в его достижение

Новый производственный корпус открыт на заводе "Арсенал", который входит в структуру группы компаний "Промтех"

Площадь корпуса составляет 10 тыс. кв. м. В нем расположены подразделения по исследованиям и разработкам, современное кристальное производство, высокотехнологичные автоматизированные сборочные производства полупроводниковой электронной компонентной базы, а также СВЧ-модулей и кабельных сборок космического применения

Продукция, выпускаемая заводом, предназначена для гражданской авиационной техники, телекоммуникационного оборудования и автомобильной электроники

Минпромторг заказал разработку установки химико-механического полирования диэлектрических слоев диоксида кремния, вольфрама и меди

На работы министерство выделило 1,7 млрд руб.

Установка будет применяться для изготовления чипов с топологическими нормами от 180 до 90 нм на пластинах диаметром 200 мм

Как следует из техзадания, прямой иностранный функциональный аналог разрабатываемой установки — американская MIRRA Mesa Integrated System 200 производства Applied Materials

Работы должны быть завершены 30 ноября 2028 г. Тендер был опубликован 11 ноября в формате открытого конкурса. Исполнителя определят 10 декабря

Минпромторг заказал разработку и освоение производства гелий-неоновых лазеров и фотоприемников для систем позиционирования оборудования, применяемого в производстве интегральных схем (ИС) с топологическими нормами до 65 нм

Соответствующий тендер был опубликован на портале госзакупок в ноябре 2024 г.

Разрабатываемый комплект предназначен для замены лазеров модели 5517C и фотоприемников моделей E1709A и 10780F производства американской фирмы Keysight в зарубежном оборудовании, а также в действующем и разрабатываемом отечественном оборудовании

Комплект будет установлен в действующие литографические степперы и сканеры Nikon серий SF 204 - 206, i-11, i-12, ASML серии PAS-5500, а также генераторы изображений топологических структур на фотошаблонах

Помимо этого, комплект заменят в оптических установках контроля координат топологических элементов и критических размеров структур на фотошаблонах

И еще он будет стоять в установках контроля дефектности на полупроводниковых пластинах AMAT Compass, лазерного устранения недопустимых дефектов на фотошаблонах и установки электронно-лучевой литографии, отмечается в техзадании

Комплектующие изделия и материалы должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей. Работы выполняются в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации»

ВЭБ. РФ добилась отмены решения об отсрочке оплаты 17,8 млрд руб., которые госкорпорации должно микроэлектронное зеленоградское предприятие «Ангстрем»

Соответствующее решение было опубликовано в картотеке Арбитражных судов 19 ноября 2024 г. Арбитражный суд Москвы в июне 2023 г. удовлетворил иск «ВЭБ. РФ» о взыскании 17,8 млрд руб.

В декабре 2023 г. «Ангстрем» через суд попросил об отсрочке исполнения решения суда

В мае 2024 г. девятый Арбитражный суд предоставил отсрочку «Ангстрему» на три года

Теперь предприятие лишилось ее

Минпромторг при этом поддержал заявление ВЭБ. РФ о прекращении отсрочки

Эксперты ожидают банкротства предприятия и смены собственников

Минпромторг опубликовал более десятка тендеров на освоение материалов, необходимых для производства интегральных схем и электроники

Министерство выделило на эти цели 4,8 млрд руб.

Среди материалов, изготовление и производство которых хотят освоить на территории России, присутствуют фторметан, тетрафторид особо чистого кремния, высокочистого гексаметилдисилизана, необходимых клеев и т.д.

Актуальность работ в тендерной документации объясняется прекращением поставок таких материалов в Россию из-за санкций и отсутствием у нас подобного производства

Все тендеры были опубликованы 22 ноября 2024 г.

Они проводятся в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации», а также «Развитие электронного машиностроения на период до 2030 года»

Работы по всем тендерам должны быть завершены до 31 декабря 2026 г.

◾️Минпромторг заказал освоение производства комбинированного материала для химико-механической полировки слоев. Ранее в страну поставлялись полировальные подушки фирмы Dow (США), которые используются для выполнения процесса химико-механической полировки слоев при производстве кристаллов на пластине диаметром 200 мм c проектными нормами до 90 нм

◾️Транс-1,2-дихлорэтилен (освоение производства которого также заказал Минпромторг) широко применяется в микроэлектронной и полупроводниковой промышленности в качестве озонобезопасного жидкого источника хлора для окисления кремния и очистки трубок.

В обеспечения потребностей отечественной радиоэлектронной промышленности необходимо разработать и внедрить в серийное производство современные энергоэффективные, конкурентоспособные технологии получения особо чистого транс-1,2-дихлорэтилена чистотой не менее 8N (по примесным металлам), пригодного для технологического процесса изготовления компонентов электронный базы

В процессе выполнения НИР образцы опытных партий разработанных материалов должны быть переданы предприятиям-потребителям и получены заключения по уровню параметров и применяемости

В отношении зеленоградской микроэлектронной компании «Ангстрем» введена процедура наблюдения

Это решение принято по заявлению банка «Зенит» о признании должника банкротом было принято 2 декабря 2024 г.

Процедура наблюдения - первый шаг в череде различных действий, из которых складывается формальное банкротство, то есть признание компании несостоятельной

Согласно материалам дела, в ноябре 2019 г. суд взыскал с «Ангстрема» в пользу «Зенита» 1 млрд руб. Задолженность предприятия перед банком сохраняется свыше шести лет

И, более того, обнаруживает тенденцию к увеличению за счет применения установленных законом финансовых санкций

А предоставленные «Ангстремом» документы о заключении сделок «не позволяют с должной степенью вероятности прогнозировать потенциальную степень их исполнения и предполагаемый объем денежных поступлений»

Поэтому суд пришел к выводу о наличии оснований для введения в отношении должника процедуры наблюдения, а также для признания требований кредитора обоснованным и включении их в реестр кредиторов должника

«Ангстрем» потребовал привлечь Прокуратуру Москвы к участию в деле, но суд это требование не удовлетворил, как и просьбу о приостановлении производства

Банкротство повлечеь за собой или продажа имущества должника или смена собственников

Последними может оказаться как Российская Федерация, так и другие микроэлектронные компании

Спезаказчик - основной птребитель Ангстрема, посмотрим: смогут ли эффективные собственники отжать землю и построить там очередной небоскреб

Правительство Нидерландов предъявило бывшему сотруднику ASML Holding NV, 43-летнему россиянину, обвинения в краже информации, составляющей коммерческую тайну производителя оборудования для производства чипов, с целью передачи российским компаниям и открытия завода по производству микросхем в России

В понедельник на слушаниях в суде Роттердама государственный обвинитель заявил, что россиянин нарушил санкционный закон, продавая документы ASML российским компаниям с ноября 2015 года

Информация передавалась по телефону, с помощью USB-накопителей и во время поездок в Москву

По словам обвинения, кража документов производилась с целью создания «фабрик, которые бы поставляли определённые технологии, которые невозможно иным образом приобрести в России из-за санкций»

Обвинение утверждает, что обвиняемый делился информацией, которая классифицируется как технологии двойного назначения, которые могут использоваться как в гражданских, так и в военных целях

Он находится под стражей в Нидерландах с августа текущего года

Обвиняемый российский инженер работал в голландской фирме Mapper Lithography, объявленной банкротом в 2018 году. Сотрудники обанкротившейся компании перешли в 2019 году в ASML после приобретения производителем оборудования её активов

Мы знаем об иске против бывшего сотрудника Mapper и ASML, — заявила представитель ASML Моник Молс (Monique Mols). — В соответствии с нашей политикой мы также сами подали отчёт. Мы не будем в дальнейшем давать комментарии во время судебного разбирательства

В России разработали и изготовили фотонные интегральные схемы (ФИС)

Одна из них создана на основе топологических норм 90 нанометров «Микроном», другая с топологией 350 нанометров выпущена НИИ измерительных систем им. Ю.Е. Седакова

Вместе с тем в стране ведутся исследования для разработки фотонного сопроцессора на принципах интегральной фотоники (НИФТИ ННГУ, МФТИ, НИИИС им. Седакова, «Микрон» и ИФМ РАН)

Эти разработки необходимы для создания гибридной электронно-фотонной вычислительной системы (ФВМ), которая была представлена НЦФМ

Ожидается, что система достигнет производительности до 1 зеттафлопс или 10^21 операций с плавающей запятой в секунду

В презентации отмечается, что российская гибридная электронно-фотонная вычислительная система будет сделана на доступной в России элементной базе

Данные разработки нужны для создания оптических квантовых и нейроморфных процессоров, необходимых для ускорения систем искусственного интеллекта и вычислительных устройств

В России разработан план создания оборудования для создания современных чипов, которое будет дешевле и эффективнее, чем установки сегодняшнего монополиста рынка ASML

Авторы проекта считают, что нашей стране нецелесообразно идти путем нидерландской компании, так как это слишком затратно. Поэтому Россия будет создавать установки не с длиной волны 13,5, а 11,2 нанометров

Длина волны 11,2 нм. Это должно привести к увеличению разрешающей способности установки на 20%

Это позволит уменьшить габаритные размеры и существенно упростить изготовление зеркал, а также заметно удешевить производство объектива

В российской установке планируется заменить оловянный лазерно-плазменный источник на ксеноновый. Это должно на порядки уменьшить загрязнения оптических элементов продуктами разлета материала источника

В разы возрастет время жизни дорогостоящих коллектора и pellicle (свободновисящих многослойных пленок для защиты масок), а значит и масок

Переход к длине волны 11,2 нм в потенциале открывает возможность использования резистов на основе кремния, в частности кремнийорганических

Наибольшей чувствительностью при высоких параметрах передачи рисунка в EUV-литографии обладают органические резисты, следует из концепции

Можно ожидать, что увеличение доли кремния в резисте приведет к заметному увеличению эффективности резиста на длине волны 11,2 нм по сравнению с 13,5 нм

Вот подробная статья Николая Чхало, заведующий отделом Института физики микроструктур (ИФМ) РАН, доктор физико-математических наук по поводу новой технологии

Минпромторг выделил 400 млн руб. на освоение технологии производства пластин легированного монокристаллического кремния

Ведомство рассчитывает к 2027 г. выйти на производство 100 тысяч полированных пластин нейтронно-трансмутационно легированного монокристаллического кремния диаметром 150 мм

Работы должны быть закончены к 1 декабря 2026 г.

Стоимость одной кремниевой пластины при серийном производстве (к 2027 г.) и размере партии поставки не менее 100 шт. не должна превышать среднерыночную стоимость аналогичных пластин на российском рынке более, чем на 10-15%

В рамках ОКР должны быть разработаны технологии получения и организованы опытно-промышленные производства: слитков кремния монокристаллического по методу бестигельной зонной плавки диаметром 150 мм, слитков кремния монокристаллического нейтронно-трансмутационно легированного и пластин кремниевых полированных монокристаллических нейтронно-трансмутационно легированных

Уникальный рентгеновский микроскоп, который позволит ученым Сибирского кольцевого источника фотонов (СКИФ, Новосибирск) опуститься до фундаментального предела в 50 нанометров, разработали в Томском политехническом университете (ТПУ)

Рентгеновский микроскоп оснащен опцией изменения поля зрения и возможностью быстрой смены монокристаллических сцинтилляционных экранов

Это позволит проводить работу в режиме высокого пространственного разрешения или с высокой чувствительностью

Управлять микроскопом будет программное обеспечение, которое полностью разработано учеными ТПУ

Оно позволит проводить исследования в широком диапазоне разрешений - от нано до мезо, отображать большие объемы данных и проводить статистический анализ состава образцов

Скорость сканирования образцов благодаря этому ПО более чем в 300 раз выше, чем при работе с аналогичными программами

Отмечается, что разработку также можно будет использовать как полноценный научный прибор для исследования образцов методами нанорадиографии и нанотомографии с базовым пространственным разрешением до 270 нанометров

Микроскоп, дополняя оптический тракт экспериментальной станции дифракционными оптическими элементами, позволит ученым опуститься до фундаментального предела станции "Микрофокуса" в 50 нанометров

Это позволит проводить большой спектр экспериментов - от исследования динамики флюидов в поровом пространстве горных пород до флюидов в чипах

А вот и видео установки Эпифас ТМ 200

Минпромторг подал иск к портфельной компании «Роснано» — «Элвис-неотек» с требованием вернуть субсидию в размере 54,8 млн руб.

«Элвис-неотек» получила четыре субсидии от Минпромторга на суммы 199,0 млн руб., (выдана в октябре 2016 г.) 148,3 млн руб. (в декабре 2019 г.), 99,7 млн руб. (в декабре 2018 г.) и 51 млн руб. (в декабре 2019 г.)

Субсидии были выданы на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры, а также на создание научно-технического задела по разработке базовых технологий производства приоритетных электронных компонентов и радиоэлектронной аппаратуры

В 2022 г. Минпромторг уже обращался в суд для возврата полной суммы субсидии (199,9 млн руб.) компанией «Элвис-неотек», средства были выделены на разработку и выпуск на рынок сферической видеокамеры VisorJet720

И тогда суд встал на сторону министерства

«Элвис-неотек» известен не только как разработчик ИТ-систем с использованием ИИ, но и как правообладатель двух российских процессоров

В сентябре 2022 г. писали об аресте бывшего топ-менеджера «Роснано» и ее портфельной ИТ-компании «Элвис-неотек» Наиля Губаева по статье о мошенничестве, совершенном организованной группой либо в особо крупном размере

В апреле 2022 г. компания выставила права на свои чипы на продажу — за 470 и 50 млн руб. соответственно

Один из них, VIP-1 строится на известной архитектуре ARM, другой, Elise — MIPS

Обе архитектуры созданы в соответствии с концепцией RISC, то есть для чипов с сокращенным набором команд

Представители «Элвис-неотека» объяснили продажу процессоров тем, что права на них относятся к результатам интеллектуальной деятельности (РИД), «которые в соответствии с новой стратегией развития компании не вошли в пул ключевых»

В Нижнем Новгороде набирает обороты масштабный проект по созданию инновационного научно-технологического центра «Квантовая долина»

Уже в 2025 году на улице Академика Сахарова начнется строительство новых производственно-лабораторных корпусов

Инвестиции в этот проект осуществят компании "Поликетон" и "НаноХимИнвест"

Их цель – создание современной площадки для исследований в области инновационных материалов и компонентов, необходимых для развития микроэлектроники и робототехники

Михаил Горшенин, генеральный директор АО "НаноХимИнвест", считает, что проект позволит достичь технологического суверенитета в радио- и микроэлектронике

В Нижнем Новгороде ООО «ТК Нефтепроминвест» инвестирует 2,2 млрд руб. в строительство центра малотоннажной химии для микроэлектронной промышленности

Комплекс появится в Сормовском районе в Нижегородском научно-образовательном центре (НОЦ)

По данным организации, центр будет состоять из четырех корпусов общей площадью 9,8 тыс. кв.м.: научно-инжиниринговый центр, лабораторно-производственный корпус, административный корпус с аналитической лабораторией и складское помещение

Проект будет реализовываться в несколько этапов, последний планируется завершить в 2030 г.

Строительство лабораторно-производственного корпуса на сегодняшний день уже ведется