По EUV-литографам для выпуска микросхем по техпроцессам меньше 10 нм. Сама технология разрабатывалась еще с начала 2000-х гг., и натолкнулась на ряд сложностей.

1) Требуется источник излучения с длиной волны около 10 нм. До этого в предыдущих поколениях фотолитографов использовались различные лазеры. Последний в технологическом ряду - эксимерный лазер на молекулах благородных газов, дающий ультрафиолетовое излучение в диапазоне 100-300 нм. Лазеры удобны для фотолитографии: они создают когерентное монохроматическое излучение, нет проблем с хроматическими абберациями и т.д. Но сгенерировать лазерное излучение на волне 10 нм с приемлемым КПД очень сложно - на это способен только лазер на свободных электронах, который представляет собой кольцевой ускоритель частиц с излучательными вставками, где знакопеременное магнитное поле заставляет электроны излучать свет. Лазер на свободных электронах может иметь достаточно большую мощность излучения - вплоть до сотен кВт, а также легко настраивается на нужную длину волны. Но это - ускоритель, система с вакуумной камерой, криогенным охлаждением и сверхпроводящими магнитами и биологической защитой (т.к. никто синхротронное излучение не отменял). Такой источник излучения уместно ставить на целый цех фотолитографов.

Голландская ASML пошла иным путем. Вместо лазера на свободных электронах, они используют тепловое излучение горячей плазмы. Микрокапелька из олова сначала расплющивается импульсом ИК-лазеров в тонкий блинчик, а потом следующим импульсом она испаряется и нагревается до десятков тыс. градусов. Далее свет отфильтровывается до получения узкой линии излучения с максимумом амплитуды на длине волны 13 нм. Проблема - в КПД, он очень низок. Чтобы иметь мощность источника света 100 Вт, потребляемая мощность излучателя должна составлять около 1 МВт.

Использование олова для создания плазмы создает массу проблем для литографа: пары олова оседают на оптической системе и на фотошаблонах. А изолировать источник от рабочей камеры фотолитографа невозможно: для излучения 10-15 нм не существует прозрачных материалов, оно активно поглощается любыми веществами. Отсюда вырастает вторая проблема:

2) Оптика на пределе технологических возможностей. Для жесткого ультрафиолета и мягкого рентгена невозможно создать оптическую систему из линз. Только зеркала. Причем не простые - а зеркала брэгговского отражения, когда луч света падает под очень небольшим углом к поверхности и отражается в первом слое кристаллической решетки зеркала. КПД отражения у однослойного зеркала невысок - а потому приходится делать целый "бутерброд" из десятков слоев с разными оптическими свойствами, чтобы добиться отражения хотя бы половины падающего излучения.

Изготовление брэгговских зеркал является кошмаром для технологов: методами напыления разных веществ нужно добиться четкой контрастной границы между слоями. А поскольку методы нанесения нанометровых по толщине покрытий работают с горячими веществами - то неизбежна диффузия атомов напыляемого вещества в предыдущий слой. Итог - вместо четкой границы получается переходная зона, ухудшающая отражательные качества зеркала. Не стоит забывать и про длину волны используемого излучения - 10-15 нм. А это значит, что дефекты поверхности зеркала должны быть как минимум в три раза меньше. Вдумайтесь: зеркало диаметром от 5 до 30 см, поверхность которого имеет допуск шероховатости меньше 4 нм! Это все равно что провести автомобиль из Санкт-Петербурга в Москву по заданной траектории с отклонением меньше миллиметра.

Думаете на этом сложности заканчиваются? Ан-нет...

3) Излучение на волне 10-15 нм - ионизирующее. А это значит, что при взаимодействии с веществом оно выбивает электроны из атомных орбит и создает ионы. Выбитые электроны - тоже рассматриваются как излучение. Ионы со временем восстанавливают свой заряд и тоже излучают свет. Все это называется вторичное излучение, которое портит оптические свойства фотолитографа. Чем больше зеркал в оптической системе - тем больше вредного вторичного излучения. Конечно, его можно отсеять при грамотном расположении элементов оптической системы. Но вторичное излучение возникает даже при взаимодействии света с фоторезистом на кремниевой пластине во время экспонирования, засвечивая соседние области больше, чем нужно. Подбор фоторезистов для такого излучения - непростая задача для химиков.

Это только самые крупные обозначенные проблемы, стоящие на пути создания фотолитографа на жестком ультрафиолете. Неудивительно, что компании из США и Японии в свое время вышли из гонки, а голландская ASML затратила почти 20 лет на разработку, попутно объединив наработки многих западных коллективов. Одно только повторение этой технологии при многих известных решениях - само по себе подвиг инженеров, сравнимый с ядерным проектом.

Подробнее о Михаиле Кавелашвили, который победил на выборах президента Грузии.

Это бывший футболист. В 1995 году стал чемпионом России по футболу в составе «Спарта-Алания».

В 2016 году стал депутатом правящей партии «Грузинская мечта», но летом 2022 года покинул партию и основал организацию «Сила народа».

Именно это организация в 2023 году инициировала принятие закона об иноагентах, который и привел к резкому охлаждению отношений грузинской власти и Запада. И породил разговоры о начале разворота Грузии к России.

На последних парламентских выборах в октябре 2024 года Кавелашвили шел по списку правящей партии «Грузинская мечта» и стал депутатом.

Является жестким критиком оппозиции и ее акций, называя их «инспирированными Западом» с целью «украинизации Грузии» и «втягивания страны в войну с РФ».

И таки да

Армейский раввин выступает перед солдатами:

— Мотопехота фараона уже нагоняла, уходить по берегу не было времени. И тогда Моисей таки приказал сапёрам перебросить понтонный мост через Суэцкий залив. Евреи перешли на Синай и стали уходить вглубь суши, но мост сворачивать не стали. И когда египетские БТР тоже пошли по мосту, Моисей подождал, пока они дойдут до середины, и приказал скрывавшимся в засаде миномётчикам расстрелять мост перед египтянами и позади египтян. Ну а дальше оставалось только добить египетский отряд, которому некуда было отступать.

Подходит озадаченный полковник:
— Рэбе, при всём моём уважении — Вы таки уверены, шо в Торе написано именно так?
— Так, как написано в Торе, мальчикам не пригодится

-----—

Мораль: когда обучаете персонал, думайте о практичности учебной программы.