🇺🇸 Материалы. Высокочистый кварц. США
Ураган в США заставил волноваться производителей чипов на Тайване и в Южной Корее
Мировые производители чипов на этой неделе начали внимательно отслеживать поставки кварца (SiO2) высокой чистоты. Побудил их к этому ураган Хелен, который остановил добычу этого материала на двух американских рудниках в Северной Каролине, на долю которых приходится большая часть мирового производства высокочистого кварца, материала, критически важного для производства полупроводников.
Важность высокочистого кварца для микроэлектроники и ряда других областей промышленности трудно переоценить. В частности, более 95% процентов монокристаллов кремния для микроэлектроники выращивается в кварцевых тиглях по методу Чохральского, практически 100% УФ-излучателей используют лампы из кварцевого стекла и т.д.
Тайваньская TSMC и германская Infineon заявили, что следят за ситуацией, но не ожидают существенного влияния на свою деятельность. То же мнение у южнокорейских Samsung Electronics и SK Hynix. Поставщик Topco Scientific Co., который работает с кварцем, заявил, что пересматривает свои запасы и контактирует с разными поставщиками этого материала. GlobalWafers, производящая кремниевые пластины, также отметила, что цепочка поставок достаточно устойчива, чтобы справиться с временным сбоем в поставке исходного материала за счет имеющихся запасов.
Скорее всего, особого влияния на мировое производство это не окажет, поскольку все крупные производители создают запасы основных материалов и компонентов, а добыча кварца в Северной Каролине наверняка возобновится. При условии, конечно, что это произойдет в какой-то обозримый период.
Добывающие кварц в Северной Каролине компании Sibelco и Quartz Corp. приостановили работы 26 сентября и заявили, что пока что не готовы сообщить, когда возобновится добыча. Ураган Хелен привел к гибели, минимум 166 людей в 6 штатах, вызвал серьезные перебои в энергоснабжении и связи.
Шахты находятся недалеко от городка Спрус-Пайн, в часе езды от Эшвилла, Северная Каролина. На эти 2 предприятия приходится более 80% мировых поставок кварца высокой чистоты, сообщала BloombergNEF в 2023 году.
В Спрус-Пайн производится около 20 тысяч тонн кварца высокой чистоты в год. Материал используется, как фотовольтаике, так и в полупроводниковой промышленности. Одно из основных применений – кварцевые тигли, в которых выращивают монокристаллы кремния полупроводникового качества. Впрочем, есть и другая кварцевая оснастка ряда технологических процессов. (..)
@RUSmicro по материалам South China Morning Post
Ураган в США заставил волноваться производителей чипов на Тайване и в Южной Корее
Мировые производители чипов на этой неделе начали внимательно отслеживать поставки кварца (SiO2) высокой чистоты. Побудил их к этому ураган Хелен, который остановил добычу этого материала на двух американских рудниках в Северной Каролине, на долю которых приходится большая часть мирового производства высокочистого кварца, материала, критически важного для производства полупроводников.
Важность высокочистого кварца для микроэлектроники и ряда других областей промышленности трудно переоценить. В частности, более 95% процентов монокристаллов кремния для микроэлектроники выращивается в кварцевых тиглях по методу Чохральского, практически 100% УФ-излучателей используют лампы из кварцевого стекла и т.д.
Тайваньская TSMC и германская Infineon заявили, что следят за ситуацией, но не ожидают существенного влияния на свою деятельность. То же мнение у южнокорейских Samsung Electronics и SK Hynix. Поставщик Topco Scientific Co., который работает с кварцем, заявил, что пересматривает свои запасы и контактирует с разными поставщиками этого материала. GlobalWafers, производящая кремниевые пластины, также отметила, что цепочка поставок достаточно устойчива, чтобы справиться с временным сбоем в поставке исходного материала за счет имеющихся запасов.
Скорее всего, особого влияния на мировое производство это не окажет, поскольку все крупные производители создают запасы основных материалов и компонентов, а добыча кварца в Северной Каролине наверняка возобновится. При условии, конечно, что это произойдет в какой-то обозримый период.
Добывающие кварц в Северной Каролине компании Sibelco и Quartz Corp. приостановили работы 26 сентября и заявили, что пока что не готовы сообщить, когда возобновится добыча. Ураган Хелен привел к гибели, минимум 166 людей в 6 штатах, вызвал серьезные перебои в энергоснабжении и связи.
Шахты находятся недалеко от городка Спрус-Пайн, в часе езды от Эшвилла, Северная Каролина. На эти 2 предприятия приходится более 80% мировых поставок кварца высокой чистоты, сообщала BloombergNEF в 2023 году.
В Спрус-Пайн производится около 20 тысяч тонн кварца высокой чистоты в год. Материал используется, как фотовольтаике, так и в полупроводниковой промышленности. Одно из основных применений – кварцевые тигли, в которых выращивают монокристаллы кремния полупроводникового качества. Впрочем, есть и другая кварцевая оснастка ряда технологических процессов. (..)
@RUSmicro по материалам South China Morning Post
South China Morning Post
TSMC, Samsung, other chip makers monitor quartz supply after hurricane shut mines
Hurricane Helene halted production at two US mines that produce most of the world’s supply of high-purity quartz, a material critical to making semiconductors.
👍4👀1
(2) В России тоже есть производство высокочистого кварцевого концентрата – предприятие Русский Кварц.
Расположенное в Кыштыме, Челябинской области, это предприятие было создано ОАО Роснано в 2011 году. В 2013 году в состав участников в качестве стратегического инвестора вошла японская компания Sumitomo Corp. В 2014 году была запущена первая очередь производства, в 2017 году – вторая. Объем производства в 2016 году достиг 3 тысяч тонн, доля экспорта – 97%.
Сейчас Русский кварц принадлежит АО КГОК (имеет отношение к Кыштымскому ГОК), нидерландской Саммит Кварц Холдинг и еще кому-то. На долю этого предприятия в 2016 году приходилось около 10% международного рынка.
В целом на международном рынке стоит отметить трех крупнейших участников – американскую Unimin, в нее входит, в частности Sibelco; американо-норвежскую Quartz Corp. и российский «Русский Кварц».
Для производства микроэлектроники используют, в основном, продукты The Quatz Corp.
Американцам достались месторождения природного сверхчистого кварца, Кыштымское месторождение дает более загрязненный примесями материал.
Если все же сбой в поставках окажется длительным, это может ускорить переход производителей на синтетические альтернативы кварцу. Впрочем, синтетический кварц, применительно к микроэлектронике, пока что не считается альтернативой природному. Дело даже не в том, что он дороже природного, проблема в том, что тигли, изготовленные из синтетического кварца, нестабильны при высоких температурах, что создает проблемы при выращивании монокристаллов.
@RUSmicro по материалам iuggu.ru и презентации компании Русский кварц.
Расположенное в Кыштыме, Челябинской области, это предприятие было создано ОАО Роснано в 2011 году. В 2013 году в состав участников в качестве стратегического инвестора вошла японская компания Sumitomo Corp. В 2014 году была запущена первая очередь производства, в 2017 году – вторая. Объем производства в 2016 году достиг 3 тысяч тонн, доля экспорта – 97%.
Сейчас Русский кварц принадлежит АО КГОК (имеет отношение к Кыштымскому ГОК), нидерландской Саммит Кварц Холдинг и еще кому-то. На долю этого предприятия в 2016 году приходилось около 10% международного рынка.
В целом на международном рынке стоит отметить трех крупнейших участников – американскую Unimin, в нее входит, в частности Sibelco; американо-норвежскую Quartz Corp. и российский «Русский Кварц».
Для производства микроэлектроники используют, в основном, продукты The Quatz Corp.
Американцам достались месторождения природного сверхчистого кварца, Кыштымское месторождение дает более загрязненный примесями материал.
Если все же сбой в поставках окажется длительным, это может ускорить переход производителей на синтетические альтернативы кварцу. Впрочем, синтетический кварц, применительно к микроэлектронике, пока что не считается альтернативой природному. Дело даже не в том, что он дороже природного, проблема в том, что тигли, изготовленные из синтетического кварца, нестабильны при высоких температурах, что создает проблемы при выращивании монокристаллов.
@RUSmicro по материалам iuggu.ru и презентации компании Русский кварц.
👍11❤2🤔1
🔬 Алмазы в микроэлектронике. Тренды
Кто и где в алмазных технологиях для микроэлектроники?
Алмазная технология не первый год привлекает ученых в области микроэлектроники. Этому способствует, например, такое свойство алмаза, как его высокая теплопроводность, в 5 раз выше чем, например, у карбида кремния, в 15 раз выше, чем у кристаллического кремния.
Вдобавок к этому алмаз демонстрирует превосходную химическую и физическую стабильность – идеально для решений, которые должны работать даже при экстремальных условиях эксплуатации. Не удивительно, что алмазы пробуют использовать как материал для подложек, в частности, для транзисторов с высокой подвижностью электронов (HEMT). Создаются силовые устройства GaN-на-алмазе.
Одна из проблем при этом – сложность соединения алмаза и нитрида галлия. Не так-то просто и выращивать и обрабатывать подложки из алмазов, в частности, их полировать.
Алмаз может быть не только подложкой – он может использоваться и как самостоятельная платформа, полупроводниковый материал, благо есть возможность легировать его различными материалами, изменяя свойства необходимым образом. Трудностью при этом остается контролируемость легирования p- и n- примесями.
Есть и другие препятствия к массовому использованию технологии – до сих пор не выпускаются доступные по цене пластины диаметром от 100 мм и более. Не решены проблемы проведения традиционных технологических операций, и если со шлифовкой и полировкой еще как-то получается справляться, то проблемой остается проблема превращения алмаза в графит при нагреве до 900С. (..)
@RUSmicro
#алмазы
Кто и где в алмазных технологиях для микроэлектроники?
Алмазная технология не первый год привлекает ученых в области микроэлектроники. Этому способствует, например, такое свойство алмаза, как его высокая теплопроводность, в 5 раз выше чем, например, у карбида кремния, в 15 раз выше, чем у кристаллического кремния.
Вдобавок к этому алмаз демонстрирует превосходную химическую и физическую стабильность – идеально для решений, которые должны работать даже при экстремальных условиях эксплуатации. Не удивительно, что алмазы пробуют использовать как материал для подложек, в частности, для транзисторов с высокой подвижностью электронов (HEMT). Создаются силовые устройства GaN-на-алмазе.
Одна из проблем при этом – сложность соединения алмаза и нитрида галлия. Не так-то просто и выращивать и обрабатывать подложки из алмазов, в частности, их полировать.
Алмаз может быть не только подложкой – он может использоваться и как самостоятельная платформа, полупроводниковый материал, благо есть возможность легировать его различными материалами, изменяя свойства необходимым образом. Трудностью при этом остается контролируемость легирования p- и n- примесями.
Есть и другие препятствия к массовому использованию технологии – до сих пор не выпускаются доступные по цене пластины диаметром от 100 мм и более. Не решены проблемы проведения традиционных технологических операций, и если со шлифовкой и полировкой еще как-то получается справляться, то проблемой остается проблема превращения алмаза в графит при нагреве до 900С. (..)
@RUSmicro
#алмазы
👍3
(2) Несмотря на отмеченные проблемы, учитывая перспективность алмазной технологии, в мире темой применения алмаза в микроэлектронике занято несколько десятков компаний. В основном – китайских и американских, но также далеко продвинулись в Японии.
По крайней мере, здесь уже уверенно растят монокристаллы алмаза (EDP), освоили производство алмазных пластин 2 дюйма и уверенно движутся к 4-х дюймовым (компания Orbray), умеют их полировать плазмой, не нанося повреждений структуре (JTEC).
Saga University и Power Diamond Systems показывали силовые полупроводники GaN-на-алмазе, способные работать с большими токами. Пока что это не промышленные изделия, но ожидается, что Япония может освоить их серийный выпуск уже в 2025 году, благо выстраивается вся цепочка, необходимая для их изготовления – от технологий и прототипов до производственного оборудования.
Еще в 2001 году в Университете Васеда были изготовлены транзисторы с длиной затвора 2 мкм, показавшие частоты отсечки 2.2 ГГц и максимальной частоты генерации в 7 ГГц. Позднее удалось получить на алмазном полевом транзисторе с гидрогенизированной поверхностью 25 ГГц и 80 ГГц соответственно при длине затвора 0.22 мкм. Для MESFET, изготовленных на поликристаллическом алмазе с размером зерна около 100 мкм удалось получить значения частот 45 ГГц и 120 ГГц!
Тему движут не только японцы, компания RFHIC, Южная Корея, выпустила первое в Корее решение для 5G 28 ГГц с использованием транзисторов GaN-на-алмазе еще в 2018 году.
Американцы активно занимаются темой алмазов в микроэлектронике, вспомнить хотя бы производство Akhan Semi в Иллинойсе для военных США.
Американцы уже успели ограничить экспорт этой технологии, как имеющей стратегическое значение для применения в РЛС и системах РЭБ.
В Китае не особенно распространяются о своих успехах, но активно темой занимаются. Тем более, что Китай – мировой лидер по части производства синтетических бриллиантов. Разумеется, в Китае пробуют применять такие кристаллы в микроэлектронике. В частности, здесь научились выращивать алмаз на GaN и создали мощный СВЧ HEMT-транзистор.
Темой алмазных полупроводников занимаются во Франции, Швейцарии, Великобритании, Ирландии и в Австрии. (..)
@RUSmicro #алмазы
По крайней мере, здесь уже уверенно растят монокристаллы алмаза (EDP), освоили производство алмазных пластин 2 дюйма и уверенно движутся к 4-х дюймовым (компания Orbray), умеют их полировать плазмой, не нанося повреждений структуре (JTEC).
Saga University и Power Diamond Systems показывали силовые полупроводники GaN-на-алмазе, способные работать с большими токами. Пока что это не промышленные изделия, но ожидается, что Япония может освоить их серийный выпуск уже в 2025 году, благо выстраивается вся цепочка, необходимая для их изготовления – от технологий и прототипов до производственного оборудования.
Еще в 2001 году в Университете Васеда были изготовлены транзисторы с длиной затвора 2 мкм, показавшие частоты отсечки 2.2 ГГц и максимальной частоты генерации в 7 ГГц. Позднее удалось получить на алмазном полевом транзисторе с гидрогенизированной поверхностью 25 ГГц и 80 ГГц соответственно при длине затвора 0.22 мкм. Для MESFET, изготовленных на поликристаллическом алмазе с размером зерна около 100 мкм удалось получить значения частот 45 ГГц и 120 ГГц!
Тему движут не только японцы, компания RFHIC, Южная Корея, выпустила первое в Корее решение для 5G 28 ГГц с использованием транзисторов GaN-на-алмазе еще в 2018 году.
Американцы активно занимаются темой алмазов в микроэлектронике, вспомнить хотя бы производство Akhan Semi в Иллинойсе для военных США.
Американцы уже успели ограничить экспорт этой технологии, как имеющей стратегическое значение для применения в РЛС и системах РЭБ.
В Китае не особенно распространяются о своих успехах, но активно темой занимаются. Тем более, что Китай – мировой лидер по части производства синтетических бриллиантов. Разумеется, в Китае пробуют применять такие кристаллы в микроэлектронике. В частности, здесь научились выращивать алмаз на GaN и создали мощный СВЧ HEMT-транзистор.
Темой алмазных полупроводников занимаются во Франции, Швейцарии, Великобритании, Ирландии и в Австрии. (..)
@RUSmicro #алмазы
👍6❤1
(3) В России темой синтетических алмазов занимаются, в частности, в New Diamond Technology. Эта компания из Санкт-Петербурга освоила выращивание бесцветных алмазов типа IIa.
Для нужд микроэлектроники и силовой электроники в компании могут добавлять в процессе синтеза необходимые примеси бора, достигая заданной электропроводности материала.
Используется НРНТ технология (высокотемпературный метод при высоком давлении) выращивания монокристаллов алмаза, что позволяет производить подложки до 1.5 х 1.5 см со стандартной толщиной 0.5 мм и ориентацией лицевых поверхностей (100).
Режут пластины высокомощным и высокоточным водоструйным smart-лазером.
Московская компания НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» выпускает установку МЛП1-Дайсер, предназначенную для решения задач прецизионной микрообработки разделения пластин, а также обработки деталей и подложек (керамика, кремний, кварц, стекло, полимеры, алмазы, сапфир, кристаллы, органические, легкоплавкие и труднообрабатываемые материалы).
Основная операция – лазерное скрайбирование. У МЛП1- Дайсер большая зона обработки по XY – 400х300мм, по Z до 50мм. Минимальный диаметр лазерного пучка и высокая плотность энергии лазерного излучения обеспечивают «холодную» бездеффектную обработку, - заявляет компания. Двухуровневое гранитное основание позволяет исключить вибрации, и обеспечить точность позиционирования с учетом линейных приводов не более 5 мкм. Вес установки до 1800 кг.
Во Владимирской области на территории Киржачского и Александровского муниципальных районов создается ОЭЗ "Владимир". Якорным инвестором «Алмазной долины» в Александровском районе выступает НПК "Алмаз". Как сообщалось, в ОЭЗ будут работать предприятия, в том числе по производству "электронных компонентов, способных заменить кремниевые". Идет ли речь в том числе об алмазных технологиях?
Что касается науки, то в 2018 году темой занимались, например, в ИПТМ РАН, смотрите презентацию Современное состояние и перспективы развития твердотельной электроники на основе алмаза и алмазоподобных материалов. Презентация Сергея Ковешникова, Институт проблем Технологии Микроэлектроники РАН. https://www.niime.ru/upload/doklady/301118/06.pdf
@RUSmicro #алмазы
Для нужд микроэлектроники и силовой электроники в компании могут добавлять в процессе синтеза необходимые примеси бора, достигая заданной электропроводности материала.
Используется НРНТ технология (высокотемпературный метод при высоком давлении) выращивания монокристаллов алмаза, что позволяет производить подложки до 1.5 х 1.5 см со стандартной толщиной 0.5 мм и ориентацией лицевых поверхностей (100).
Режут пластины высокомощным и высокоточным водоструйным smart-лазером.
Московская компания НПЦ «Лазеры и аппаратура ТМ» выпускает установку МЛП1-Дайсер, предназначенную для решения задач прецизионной микрообработки разделения пластин, а также обработки деталей и подложек (керамика, кремний, кварц, стекло, полимеры, алмазы, сапфир, кристаллы, органические, легкоплавкие и труднообрабатываемые материалы).
Основная операция – лазерное скрайбирование. У МЛП1- Дайсер большая зона обработки по XY – 400х300мм, по Z до 50мм. Минимальный диаметр лазерного пучка и высокая плотность энергии лазерного излучения обеспечивают «холодную» бездеффектную обработку, - заявляет компания. Двухуровневое гранитное основание позволяет исключить вибрации, и обеспечить точность позиционирования с учетом линейных приводов не более 5 мкм. Вес установки до 1800 кг.
Во Владимирской области на территории Киржачского и Александровского муниципальных районов создается ОЭЗ "Владимир". Якорным инвестором «Алмазной долины» в Александровском районе выступает НПК "Алмаз". Как сообщалось, в ОЭЗ будут работать предприятия, в том числе по производству "электронных компонентов, способных заменить кремниевые". Идет ли речь в том числе об алмазных технологиях?
Что касается науки, то в 2018 году темой занимались, например, в ИПТМ РАН, смотрите презентацию Современное состояние и перспективы развития твердотельной электроники на основе алмаза и алмазоподобных материалов. Презентация Сергея Ковешникова, Институт проблем Технологии Микроэлектроники РАН. https://www.niime.ru/upload/doklady/301118/06.pdf
@RUSmicro #алмазы
👍14❤1
⚙️ Оборудование. Утонение пластин
В одном из выставочных проспектов НМ-Тех, которые в свое время, прихватил на стенде компании, на глаза попалось перечисление оборудования, задействованного на производстве.
1️⃣ Утонение пластин
▫️Диаметр 150-200 мм, толщина 1,8999 - 150 мкм.
▫️ Грубая шлифовка
▫️ Тонкая шлифовка
▫️ Механическая финишная полировка с постоянным мониторингом толщины пластины на операциях грубой и тонкой шлифовки с помощью установки Pg200.
PG200 это установка японской компании Accretech. Ее поставками в РФ ранее занималась Sovtest. И сейчас на сайте компании можно найти соответствующую страничку.
Особенность машины - она позволяет проводить тонкую полировку для удаления микроповреждений поверхности пластины методом, похожим на шлифовку. Полирующее вещество подается на вращающийся диск с прикрепленными к нему мягкими площадками, диск прижимается к полируемой пластине, удерживаемой на держателе. Этот метод объединяет в себе химический и механический процессы, проходящие на уровне молекул и атомов. В качестве полировального раствора используется коллоидный раствор оксида кремния в гидроксиде аммония (NH4OH), который обычно смешивается с деионизированной водой в соотношении 1:20. Размер частиц обычно не превышает 100 нм.
Оборудование компании Accretech позволяет выполнять полировку ультратонких пластин, при этом оборудование компании позволяет выполнять несколько процессов на одной установке – грубая шлифовка, тонкая шлифовка, полировка и очистка пластины, при этом пластина на протяжении всего процесса остается на одном держателе. Благодаря этому снижается риск поломки пластин, а толщина пластин в теории может доходить до 30 мкм и менее.
Основой системы является вращающийся столик с 4 держателями. По завершении одного из этапов столик поворачивается на 90 градусов, тем самым перенося пластину на следующий этап. Последовательность этапов следующая: столик загрузки/разгрузки, этап грубой шлифовки, этап тонкой шлифовки, этап полировки, столик загрузки/разгрузки. В течение всего процесса ведется мониторинг пластины, чтобы обеспечить требуемую толщину и однородность, кроме этого отслеживаются все остальные параметры, а система регулирует температуру и движение диска.
Accretech Pg200 не использует опасные химические реагенты, т.е. система не несет опасности для окружающей среды.
Не самая новая установка для полировки пластин, есть, например, более современная PG300.
Существует рынок б/у установок - фотографии как раз одного из таких изделий выпуска 2003 года.
@RUSmicro
#полировка #пластины #подложки #оборудование #микроэлектроника
В одном из выставочных проспектов НМ-Тех, которые в свое время, прихватил на стенде компании, на глаза попалось перечисление оборудования, задействованного на производстве.
1️⃣ Утонение пластин
▫️Диаметр 150-200 мм, толщина 1,8999 - 150 мкм.
▫️ Грубая шлифовка
▫️ Тонкая шлифовка
▫️ Механическая финишная полировка с постоянным мониторингом толщины пластины на операциях грубой и тонкой шлифовки с помощью установки Pg200.
PG200 это установка японской компании Accretech. Ее поставками в РФ ранее занималась Sovtest. И сейчас на сайте компании можно найти соответствующую страничку.
Особенность машины - она позволяет проводить тонкую полировку для удаления микроповреждений поверхности пластины методом, похожим на шлифовку. Полирующее вещество подается на вращающийся диск с прикрепленными к нему мягкими площадками, диск прижимается к полируемой пластине, удерживаемой на держателе. Этот метод объединяет в себе химический и механический процессы, проходящие на уровне молекул и атомов. В качестве полировального раствора используется коллоидный раствор оксида кремния в гидроксиде аммония (NH4OH), который обычно смешивается с деионизированной водой в соотношении 1:20. Размер частиц обычно не превышает 100 нм.
Оборудование компании Accretech позволяет выполнять полировку ультратонких пластин, при этом оборудование компании позволяет выполнять несколько процессов на одной установке – грубая шлифовка, тонкая шлифовка, полировка и очистка пластины, при этом пластина на протяжении всего процесса остается на одном держателе. Благодаря этому снижается риск поломки пластин, а толщина пластин в теории может доходить до 30 мкм и менее.
Основой системы является вращающийся столик с 4 держателями. По завершении одного из этапов столик поворачивается на 90 градусов, тем самым перенося пластину на следующий этап. Последовательность этапов следующая: столик загрузки/разгрузки, этап грубой шлифовки, этап тонкой шлифовки, этап полировки, столик загрузки/разгрузки. В течение всего процесса ведется мониторинг пластины, чтобы обеспечить требуемую толщину и однородность, кроме этого отслеживаются все остальные параметры, а система регулирует температуру и движение диска.
Accretech Pg200 не использует опасные химические реагенты, т.е. система не несет опасности для окружающей среды.
Не самая новая установка для полировки пластин, есть, например, более современная PG300.
Существует рынок б/у установок - фотографии как раз одного из таких изделий выпуска 2003 года.
@RUSmicro
#полировка #пластины #подложки #оборудование #микроэлектроника
👍4
⚙️ (2) Исследование пластин. Зондовые станции
Продолжая рассматривать выставочный проспект НМ-Тех, читаю:
3️⃣ Исследование кристаллов на пластине. Зондовая станция TEL P8XL позволяет работать с пластинами диаметром: 100 мм, 150 мм, 200 мм
P8XL - это изделие японской Tokyo Electron (TEL).
P-8XL - это двухсторонний тестер пластин, предназначенный для объёмного зондирования как односторонних, так и двусторонних пластин.
Выпускался в разные годы в разных дизайнах, см. фото. Популярный на мировом рынке продукт. Известна давно, продают, например, изделия 2000 года.
▫️ Оснащён столом XYZ с разрешением 0,15 мкм (ось X), 0,15 мкм (ось Y) и 0,075 мкм (ось Z).
▫️ Интегрированные микроскоп и камера, позволяют операторам просматривать и осматривать пластины во время зондирования;
▫️ Время замены пластины - от 33 с, что минимизирует простои оборудования.
Тоже есть на рынке б/у, цена на ebay - $55 тыр (т.е. примерно 5,2 млн руб).
@RUSmicro
#зондирование #зондовыестанции #тестыпластин #пластины #микроэлектроника
Продолжая рассматривать выставочный проспект НМ-Тех, читаю:
3️⃣ Исследование кристаллов на пластине. Зондовая станция TEL P8XL позволяет работать с пластинами диаметром: 100 мм, 150 мм, 200 мм
P8XL - это изделие японской Tokyo Electron (TEL).
P-8XL - это двухсторонний тестер пластин, предназначенный для объёмного зондирования как односторонних, так и двусторонних пластин.
Выпускался в разные годы в разных дизайнах, см. фото. Популярный на мировом рынке продукт. Известна давно, продают, например, изделия 2000 года.
▫️ Оснащён столом XYZ с разрешением 0,15 мкм (ось X), 0,15 мкм (ось Y) и 0,075 мкм (ось Z).
▫️ Интегрированные микроскоп и камера, позволяют операторам просматривать и осматривать пластины во время зондирования;
▫️ Время замены пластины - от 33 с, что минимизирует простои оборудования.
Тоже есть на рынке б/у, цена на ebay - $55 тыр (т.е. примерно 5,2 млн руб).
@RUSmicro
#зондирование #зондовыестанции #тестыпластин #пластины #микроэлектроника
👍2👌1
⚙️ (3) Контроль и тесты пластин. Измерительные системы
По этой теме выставочный проспект НМ-Тех сообщает о возможности:
2️⃣ Функциональный контроль кристаллов и микросхем
▫️ Функциональный контроль кристаллов на пластинах диаметром 150-200 мм и микросхем в корпусах с использованием измерительных систем Advantest Verigy 93000 / HP 83000.
▫️ Тестирование памяти до 300 Мбит/с и измерение микросхем в корпусах в диапазоне температур -60... +150С.
🔹 Advantest Verigy 93000 - предназначен для измерения и воспроизведения силы постоянного тока и напряжения, частоты следования прямоугольных импульсов при высокопроизводительном параметрическом и функциональном контроле полупроводниковых кристаллов, КМОП и ЭСЛ микросхем с количеством выводов до 512 и рабочей частотой последовательности функционального контроля до 800 МГц.
Принцип работы тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую тестером.
🔹 HP 83000 - линейка тестеров, предназначенных для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов при высокопроизводительном функциональном и параметрическом контроле интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых кристаллов.
Как и в случае с Advantest Verigy 93000, тестер HP83000 основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую тестером.
Возможности разные у разных моделей. Например, тестер HP83000-F330t обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС (ЭСЛ и КМОП микросхем) и полупроводниковые кристаллы по 192 каналам (с возможностью расширения до 512) с рабочей частотой последовательности ФК до 120 МГц (с возможностью увеличения до 330 МГц).
@RUSmicro, фото HP83000
#тестерыкристаллов #тестерымикросхем #микроэлектроника #производственноеоборудование
По этой теме выставочный проспект НМ-Тех сообщает о возможности:
2️⃣ Функциональный контроль кристаллов и микросхем
▫️ Функциональный контроль кристаллов на пластинах диаметром 150-200 мм и микросхем в корпусах с использованием измерительных систем Advantest Verigy 93000 / HP 83000.
▫️ Тестирование памяти до 300 Мбит/с и измерение микросхем в корпусах в диапазоне температур -60... +150С.
🔹 Advantest Verigy 93000 - предназначен для измерения и воспроизведения силы постоянного тока и напряжения, частоты следования прямоугольных импульсов при высокопроизводительном параметрическом и функциональном контроле полупроводниковых кристаллов, КМОП и ЭСЛ микросхем с количеством выводов до 512 и рабочей частотой последовательности функционального контроля до 800 МГц.
Принцип работы тестера основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую тестером.
🔹 HP 83000 - линейка тестеров, предназначенных для воспроизведения и измерения напряжения и силы постоянного тока, частоты следования прямоугольных импульсов при высокопроизводительном функциональном и параметрическом контроле интегральных микросхем (ИМС) и полупроводниковых кристаллов.
Как и в случае с Advantest Verigy 93000, тестер HP83000 основан на сравнении с помощью быстродействующих АЦП выходных сигналов микросхем с известным эталонным откликом на задаваемую тестовую последовательность функционального контроля, формируемую тестером.
Возможности разные у разных моделей. Например, тестер HP83000-F330t обеспечивает формирование входных воздействий на выводы ИМС (ЭСЛ и КМОП микросхем) и полупроводниковые кристаллы по 192 каналам (с возможностью расширения до 512) с рабочей частотой последовательности ФК до 120 МГц (с возможностью увеличения до 330 МГц).
@RUSmicro, фото HP83000
#тестерыкристаллов #тестерымикросхем #микроэлектроника #производственноеоборудование
❤2
⚙️ (4) Рентгеновская спектроскопия. Оборудование для производства микроэлектроники
В том же проспекте НМ-Тех есть картинка, где хорошо виден японский волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр Rigaku WDA-3650.
Это машинка для дисперсионной рентгеновской спектроскопии с детектором для анализа по длине волны. Позволяет одновременно определить толщины плёнок и их состав. Работает с самыми разными пленками: металлическими пленками, многослойными пленкам, пленками электридов, пленками феродиэлектриков, FRAM, пленками оксида кремния.
За счет параллельных каналов может одновременно анализировать несколько элементов, автоматическая диагностика и автокалибровка.
@RUSmicro
#спектроскопия #производствомикросхем #микроэлектроника
В том же проспекте НМ-Тех есть картинка, где хорошо виден японский волнодисперсионный рентгеновский флуоресцентный спектрометр Rigaku WDA-3650.
Это машинка для дисперсионной рентгеновской спектроскопии с детектором для анализа по длине волны. Позволяет одновременно определить толщины плёнок и их состав. Работает с самыми разными пленками: металлическими пленками, многослойными пленкам, пленками электридов, пленками феродиэлектриков, FRAM, пленками оксида кремния.
За счет параллельных каналов может одновременно анализировать несколько элементов, автоматическая диагностика и автокалибровка.
@RUSmicro
#спектроскопия #производствомикросхем #микроэлектроника
👍2